クリーン環境下の昇降装置で低発塵と省スペース自動化を同時に実現
半導体露光装置の扉の開閉を自動化させるにあたり、装置レイアウトを変更せずに導入できる省スペースな電動アクチュエータの選定が求められていました。
また、クリーンルーム内の設備であるため低発塵性も重要でした。
そこで、低床・コンパクトな設計のジップチェーンアクチュエータを採用。クリーングリスを採用することで発塵リスクを抑制しつつ、既存設備へのスムーズな組み込みを実現しました。
| Problem | Industry | Purpose | Product group |
|---|---|---|---|
| Space-saving | LCD, semiconductor, electronic equipment, communications | Move linearly | Linear Actuator |
Problem
既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。
さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。
Adopted products
Zip Chain Actuator
The interlocking chain (Zip Chain) is a chain developed exclusively by our company in which two chains interlock like a zipper to form one strong rod that can be "pushed and pulled."
Zip Chain Actuator is a completely new linear actuator that uses this mechanism.
Zip Chain can be stored in a compact case, achieving overwhelming space savings compared to conventional linear actuator.
It is compatible with high-speed, high-frequency operation and uses significantly less power than hydraulic or pneumatic cylinders.
It is possible to stop at multiple points with high precision, and the installation direction is free.
Benefits of adopting the product
ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。
1000㎜/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。
また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。
クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。
Tsubaki will do its utmost to support you in solving any problems you may have.
Please feel free to contact us with any concerns you may have.
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